ნახევარგამტარული მასალების მიკროსტრუქტურის ანალიზი და შეფასება
სერვისის შესავალი
ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემების უწყვეტი განვითარებით, ჩიპების წარმოების პროცესი სულ უფრო და უფრო რთული ხდება, ხოლო ნახევარგამტარული მასალების არანორმალური მიკროსტრუქტურა და შემადგენლობა ხელს უშლის ჩიპის გამოსავლიანობის გაუმჯობესებას, რაც დიდ გამოწვევებს უქმნის ახალი ნახევარგამტარული და ინტეგრირებული დანერგვას. წრიული ტექნოლოგიები.
GRGTEST უზრუნველყოფს ნახევარგამტარული მასალის მიკროსტრუქტურის ყოვლისმომცველ ანალიზს და შეფასებას, რათა დაეხმაროს მომხმარებლებს გააუმჯობესონ ნახევარგამტარული და ინტეგრირებული მიკროსქემის პროცესები, მათ შორის ვაფლის დონის პროფილის მომზადება და ელექტრონული ანალიზი, ნახევარგამტარული მასალების წარმოებასთან დაკავშირებული მასალების ფიზიკური და ქიმიური თვისებების ყოვლისმომცველი ანალიზი, ნახევარგამტარული მასალის დამაბინძურებლების ანალიზის ფორმულირება და განხორციელება. პროგრამა.
მომსახურების სფერო
ნახევარგამტარული მასალები, ორგანული მცირე მოლეკულური მასალები, პოლიმერული მასალები, ორგანული/არაორგანული ჰიბრიდული მასალები, არაორგანული არალითონური მასალები
სერვისის პროგრამა
1. ჩიპის ვაფლის დონის პროფილის მომზადება და ელექტრონული ანალიზი, რომელიც დაფუძნებულია ფოკუსირებული იონის სხივის ტექნოლოგიაზე (DB-FIB), ჩიპის ლოკალური არეალის ზუსტი ჭრაზე და რეალურ დროში ელექტრონულ გამოსახულებაზე, შეუძლია მიიღოს ჩიპის პროფილის სტრუქტურა, შემადგენლობა და სხვა. მნიშვნელოვანი პროცესის ინფორმაცია;
2. ნახევარგამტარული წარმოების მასალების ფიზიკური და ქიმიური თვისებების ყოვლისმომცველი ანალიზი, მათ შორის ორგანული პოლიმერული მასალები, მცირე მოლეკულური მასალები, არაორგანული არამეტალური მასალების შემადგენლობის ანალიზი, მოლეკულური სტრუქტურის ანალიზი და ა.შ.;
3. ნახევარგამტარული მასალების დამაბინძურებლების ანალიზის გეგმის შედგენა და განხორციელება.მას შეუძლია დაეხმაროს მომხმარებელს სრულად გააცნობიეროს დამაბინძურებლების ფიზიკური და ქიმიური მახასიათებლები, მათ შორის: ქიმიური შემადგენლობის ანალიზი, კომპონენტის შინაარსის ანალიზი, მოლეკულური სტრუქტურის ანალიზი და სხვა ფიზიკური და ქიმიური მახასიათებლების ანალიზი.
სერვისის ნივთები
| სერვისიტიპი | სერვისინივთები |
| ნახევარგამტარული მასალების ელემენტარული შემადგენლობის ანალიზი | l EDS ელემენტარული ანალიზი, ლ რენტგენის ფოტოელექტრონული სპექტროსკოპია (XPS) ელემენტარული ანალიზი |
| ნახევარგამტარული მასალების მოლეკულური სტრუქტურის ანალიზი | l FT-IR ინფრაწითელი სპექტრის ანალიზი, l რენტგენის დიფრაქციული (XRD) სპექტროსკოპიული ანალიზი, l ბირთვული მაგნიტურ-რეზონანსული პოპ ანალიზი (H1NMR, C13NMR) |
| ნახევარგამტარული მასალების მიკროსტრუქტურის ანალიზი | l ორმაგი ფოკუსირებული იონის სხივის (DBFIB) ნაჭრის ანალიზი, l საველე ემისიის სკანირების ელექტრონული მიკროსკოპია (FESEM) გამოყენებული იყო მიკროსკოპული მორფოლოგიის გასაზომად და დასაკვირვებლად, l ატომური ძალის მიკროსკოპია (AFM) ზედაპირის მორფოლოგიური დაკვირვებისთვის |
